日前，由沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司承擔(dān)的國家科技重大專項“IC裝備機(jī)械手及硅片傳輸系統(tǒng)系列產(chǎn)品研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目在沈陽順利通過技術(shù)和財務(wù)驗收。項目開發(fā)的兩大類直驅(qū)型真空機(jī)械手產(chǎn)品、新型大氣機(jī)械手系列化產(chǎn)品、面向光刻機(jī)硅片傳輸?shù)膯坞p臂機(jī)械手產(chǎn)品和面向刻蝕機(jī)、CVD（化學(xué)氣相沉積）、PVD（物理氣相沉積）和CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）等整機(jī)設(shè)備配套的EFEM（設(shè)備前端模塊）系列化產(chǎn)品，可以廣泛應(yīng)用在集成電路的多個領(lǐng)域，是我國在集成電路領(lǐng)域取得的一項重大研究成果，徹底打破了國外的技術(shù)封鎖。

　　該項目由沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司聯(lián)合上海交通大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)等國內(nèi)著名高校采取產(chǎn)學(xué)研合作方式，進(jìn)行聯(lián)合攻關(guān)。通過攻克真空（超凈）環(huán)境下的大間隙直接驅(qū)動電機(jī)和控制、多軸同軸直接驅(qū)動與真空隔離、高真空與高潔凈環(huán)境下精密伺服控制、真空機(jī)械手新構(gòu)型等共性關(guān)鍵技術(shù)，成功研制出了真空機(jī)械手產(chǎn)品、新型大氣機(jī)械手系列化產(chǎn)品、面向光刻機(jī)硅片傳輸?shù)膯坞p臂機(jī)械手產(chǎn)品以及EFEM系列化產(chǎn)品。并在北京北方微電子設(shè)備有限公司、沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司等企業(yè)完成了示范應(yīng)用，實現(xiàn)了IC裝備機(jī)械手及系統(tǒng)裝備的國產(chǎn)化。項目執(zhí)行周期內(nèi)，累計實現(xiàn)各類機(jī)械手、EFEM等設(shè)備銷售收入16042.27萬元。

該項目是我國在集成電路領(lǐng)域，在潔凈物料自動傳輸方向進(jìn)行的一次嘗試和探索，項目研發(fā)的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的IC裝備機(jī)械手及硅片傳輸系統(tǒng)不僅滿足了本國企業(yè)的迫切需求，同時打破了國外IC裝備企業(yè)在國內(nèi)的壟斷地位，降低了晶圓制造企業(yè)生產(chǎn)成本，實現(xiàn)了半導(dǎo)體行業(yè)物料搬運(yùn)和自動化裝載系統(tǒng)的國產(chǎn)化，進(jìn)而推動了我國IC裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并帶動整個裝備制造的產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，加速了我國裝備制造業(yè)向高端領(lǐng)域進(jìn)軍。

來源：遼寧省科技廳